KXGEM SDK對GEM300所涉及的SEMI軟件標準做了完全的功能實現(xiàn)
- 對象服務標準 OSS（E39）
- 晶圓追蹤標準 STS（E90）
- 自動化作業(yè)管理追蹤 PJM（E40），CJM（E94）
- 設備硬件模塊運行效率的管理和追蹤 EPT（E116）
- 全自動Carrier管理標準 CRM（E87)
- 物料運輸的晶圓傳送標準，并行IO硬件通信接口定義 PIO（E84）
- 生產制程關鍵參數進行追蹤監(jiān)控標準 MPT（E157）
哪一類設備制造商適合使用KXGEM300 SDK？
設備制造商已有自己的設備控制軟件，希望以較少的研發(fā)成本和較短時間內對設備軟件進行改造實現(xiàn)GEM300標準。我們?yōu)槊恳晃籏XGEM300軟件產品使用客戶定制開發(fā)培訓教程，在培訓中以客戶實際設備為實例，完成GEM300各個SEMI標準的集成操作演示和測試。
KXGEM300使得設備制造商的軟件開發(fā)人員不需要精通一系列GEM300標準，就能開發(fā)出滿足工廠自動化生產要求的GEM300設備操作規(guī)范和通信接口。
基于KXGEM300 SDK產品，珂矽已協(xié)助多個國內半導體設備制造商完成了GEM300軟件集成，包括單片晶圓工藝處理，晶圓封裝，晶圓量測等設備。 運行KXGEM300的半導體設備已在包括長江存儲，中芯國際等一線工廠運行。