迄今為止,GEM 標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用已有二十多年。由于在半導(dǎo)體芯片…
SECS GEM系列之設(shè)備自我描述接口的進(jìn)化
GEM標(biāo)準(zhǔn)是半導(dǎo)體行業(yè)普遍遵循的自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn),所有符合GEM標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)備都…
SECS GEM系列之控制狀態(tài)機(jī)
早在工廠生產(chǎn)自動(dòng)化應(yīng)用普及之前,絕大多數(shù)設(shè)備處于“離線”狀態(tài),設(shè)備狀態(tài)…
SECS GEM 系列之通訊狀態(tài)機(jī)
對(duì)于絕大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)的操作人員而言,設(shè)備的通訊功能只有Enabl…