• 對象服務(wù)標(biāo)準(zhǔn) OSS（E39）
• 晶圓追蹤標(biāo)準(zhǔn) STS（E90）
• 自動化作業(yè)管理追蹤 PJM（E40），CJM（E94）
• 設(shè)備硬件模塊運行效率的管理和追蹤 EPT（E116）
• 全自動Carrier管理標(biāo)準(zhǔn) CRM（E87)
• 物料運輸?shù)木A傳送標(biāo)準(zhǔn)，并行IO硬件通信接口定義 PIO（E84）
• 生產(chǎn)制程關(guān)鍵參數(shù)進行追蹤監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn) MPT（E157）

哪一類設(shè)備制造商適合使用KXGEM300 SDK？

設(shè)備制造商已有自己的設(shè)備控制軟件，希望以較少的研發(fā)成本和較短時間內(nèi)對設(shè)備軟件進行改造實現(xiàn)GEM300標(biāo)準(zhǔn)。我們?yōu)槊恳晃籏XGEM300軟件產(chǎn)品使用客戶定制開發(fā)培訓(xùn)教程，在培訓(xùn)中以客戶實際設(shè)備為實例，完成GEM300各個SEMI標(biāo)準(zhǔn)的集成操作演示和測試。

KXGEM300使得設(shè)備制造商的軟件開發(fā)人員不需要精通一系列GEM300標(biāo)準(zhǔn)，就能開發(fā)出滿足工廠自動化生產(chǎn)要求的GEM300設(shè)備操作規(guī)范和通信接口。

基于KXGEM300 SDK產(chǎn)品，珂矽已協(xié)助多個國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商完成了GEM300軟件集成，包括單片晶圓工藝處理，晶圓封裝，晶圓量測等設(shè)備。 運行KXGEM300的半導(dǎo)體設(shè)備已在包括長江存儲，中芯國際等一線工廠運行。

點擊此處鏈接查看KXGEM300產(chǎn)品介紹

The post GEM300集成案例 first appeared on 珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司.

完成的大氣設(shè)備硬件控制邏輯功能塊包括

• PM (Process Module) 工藝腔體
• LP (LoadPort) 晶圓裝載口
• AMHS （Automatic Material Handling System）E84 自動物料搬運接口
• ATM Robot (Atmosphere Robot) 大氣機械手
• EFEM (Equipment Front End Module) 設(shè)備前端模塊
• MFC (Mass Flow Controller) 流量計
• Gauge 壓力計
• Buffer 緩沖腔
• Motion Controller 運動控制器
• RFID Reader 晶圓盒ID讀碼器
• TC （Temperature Controller） 溫度控制器
• Hardware Messenger 通用硬件通信模塊

完成各種大氣設(shè)備調(diào)度場景

• 針對晶圓的單手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對晶圓的多手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對晶圓的多機器人多手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對晶圓的槽式設(shè)備調(diào)度
• 針對晶圓盒的多機器人設(shè)備調(diào)度
• 針對多個晶圓盒站點位的Internal Buffer類型設(shè)備調(diào)度

提供通用的大氣工藝腔菜單執(zhí)行引擎模版

• 無需編寫代碼即完成工藝配方程序的創(chuàng)建和保存
• 提供通用的工藝配方文件解析代碼
• 無需編寫代碼自動支持SEMI SECS Stream 7 Format Recipe上傳、下載
• 提供壓力控制，閥門控制，流量計，溫度控制的漸變、跳變、條件跳轉(zhuǎn)等常見工藝控制流程
• 通過軟件互鎖實現(xiàn)異常情況下的安全保護操作
• 自動數(shù)據(jù)監(jiān)測、記錄、存檔，支持高頻工藝數(shù)據(jù)存儲
• 內(nèi)建SEMI E157(MPT)工藝程序運行狀態(tài)上報，配合工廠FDC完成工藝數(shù)據(jù)工廠監(jiān)控

大氣晶圓傳送互鎖

• 三重互鎖設(shè)計確保晶圓傳送發(fā)生硬件碰撞事故
• 預(yù)留軟件互鎖接口配合支持硬件互鎖的Robot Controller實現(xiàn)硬件安全互鎖
• 無需修改軟件代碼即可實現(xiàn)互鎖規(guī)則調(diào)整

靈活的調(diào)度器設(shè)計方案

大氣設(shè)備往往對于設(shè)備產(chǎn)能（WPH）有著嚴(yán)格要求，為方便設(shè)備制造商實現(xiàn)各種不同情況下的調(diào)度邏輯，珂矽設(shè)計了獨特的任務(wù)執(zhí)行引擎（Task Work Engine），并將設(shè)備常見調(diào)度動作進行了封裝，支持兩種傳統(tǒng)的調(diào)度實現(xiàn)方法：（a）Planned Scheduling規(guī)劃式調(diào)度， （b）State Driven Scheduling狀態(tài)驅(qū)動式調(diào)度。 使用者可以自行采用方式（a）或（b）或混合方式實現(xiàn)設(shè)備的單獨或多步調(diào)度規(guī)劃。

The post 大氣設(shè)備設(shè)計開發(fā)案例 first appeared on 珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司.

完成的真空設(shè)備硬件控制邏輯功能塊包括

• TM (Transfer Module) 真空傳送腔體
• PM (Process Module) 工藝腔體
• LL (Loadlock) 預(yù)裝載腔體
• LP (LoadPort) 晶圓裝載口
• AMHS （Automatic Material Handling System）E84 自動物料搬運接口
• ATM Robot (Atmosphere Robot) 大氣機械手
• VAC Robot (Vacuum Robot)真空機械手
• EFEM (Equipment Front End Module) 設(shè)備前端模塊
• VAC Pump (Vaccum Pump) 真空泵
• MFC (Mass Flow Controller) 流量計
• Gauge 壓力計
• Buffer 緩沖腔
• Slit 閘板閥
• Motion Controller 運動控制器
• RFID Reader 晶圓盒ID讀碼器
• TV （Throttle Valve） 蝶閥控制器
• PC （Pressure Controller） 壓力控制器
• TC （Temperature Controller） 溫度控制器
• Hardware Messenger 通用硬件通信模塊

完成各種真空設(shè)備調(diào)度場景

• 單傳送腔（Single TM）設(shè)備調(diào)度
• 雙傳送腔（Dual TM）設(shè)備調(diào)度
• 多類型工藝腔體帶優(yōu)先級的設(shè)備調(diào)度
• 單腔多真空機械手設(shè)備調(diào)度
• 單工藝腔同時處理多片晶圓的設(shè)備調(diào)度

提供通用的真空工藝腔菜單執(zhí)行引擎模版

• 無需編寫代碼即完成工藝配方程序的創(chuàng)建和保存
• 提供通用的工藝配方文件解析代碼
• 無需編寫代碼自動支持SEMI SECS Stream 7 Format Recipe上傳、下載
• 提供壓力控制，閥門控制，流量計，溫度控制的漸變、跳變、條件跳轉(zhuǎn)等常見工藝控制流程
• 通過軟件互鎖實現(xiàn)異常情況下的安全保護操作
• 自動數(shù)據(jù)監(jiān)測、記錄、存檔，支持高頻工藝數(shù)據(jù)存儲
• 內(nèi)建SEMI E157(MPT)工藝程序運行狀態(tài)上報，配合工廠FDC完成工藝數(shù)據(jù)工廠監(jiān)控

真空|大氣晶圓傳送互鎖：

• 三重互鎖設(shè)計確保晶圓傳送發(fā)生硬件碰撞事故
• 預(yù)留軟件互鎖接口配合支持硬件互鎖的Robot Controller實現(xiàn)硬件安全互鎖
• 無需修改軟件代碼即可實現(xiàn)互鎖規(guī)則調(diào)整

支持6、8寸真空設(shè)備的控制軟件移植

針對國內(nèi)6、8寸真空設(shè)備，珂矽針對沒有LoadPort，采用LoadLock + SMIF方式裝載Cassette的6、8寸PVD，CVD設(shè)備，專門開發(fā)了針對SMIF場景的GEM300控制接口，整機設(shè)備軟件仍舊完全遵循SEMI GEM300標(biāo)準(zhǔn)實現(xiàn)全自動化生產(chǎn)，對于已經(jīng)采用GEM300生產(chǎn)的工廠無需做任何調(diào)整，可以完全采用GEM300方式對6、8寸SMIF設(shè)備進行全自動生產(chǎn)控制。

The post 真空腔設(shè)備設(shè)計開發(fā)案例 first appeared on 珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司.

由于倍福官方?jīng)]有提供SECS/GEM的軟件產(chǎn)品，對于采用倍福TwinCAT PLC軟件作為主控的設(shè)備，通常需要借助一臺上位機PC，由熟悉工廠自動化的上位機軟件工程師，使用高級語言（C++，C#等）進行SECS/GEM通信接口開發(fā)，該種方式存在以下缺點：

1. 需增加上位機PC，增加硬件成本；
2. 需尋找專門寫工廠自動化的高級語言軟件開發(fā)工程師，增加軟件人力成本；
3. 對于PLC主控設(shè)備，PLC開發(fā)工程師不能自由的和工廠EAP/MES進行對接，所有數(shù)據(jù)、事件、報警均需要中轉(zhuǎn)；

為了讓TwinCAT PLC開發(fā)工程師能直接進行SECS/GEM通信接口開發(fā)，珂矽為倍福TwinCAT PLC定制開發(fā)了SECS/GEM PLC通信庫KXTCGEM Lib，無需增加任何硬件，也無需上位機編程，直接在TwinCAT PLC項目中通過調(diào)用ST語言封裝的通信方法快速實現(xiàn)SECS/GEM接口，以下是對該庫程序的介紹。

1. 支持的SEMI標(biāo)準(zhǔn)版本

TwinCAT SECS/GEM支持的SEMI標(biāo)準(zhǔn)版本號見下表：

2. 添加SECS/GEM PLC軟件庫

在TwinCAT 3 PLC上運行KXTXGEM安裝包，庫程序支持在Windows 7/8/10等TwinCAT PLC的運行操作系統(tǒng)上運行。程序庫默認(rèn)安裝在C:\TwinCAT\GEM路徑。安裝完成后，打開TwinCAT 3軟件，新建PLC項目，在PLC項目References欄目上鼠標(biāo)右鍵點擊 Add ?Library添加SECS/GEM庫文件。

2. PLC編程調(diào)用KXware SECS/GEM庫

TwinCAT SECS/GEM庫的各個方法被封裝在FB_GEM功能塊中，用戶通過定義全局的FB_GEM對象對GEM的各個接口進行訪問操作。

3. 基于KXTXGEM PLC庫進行PLC開發(fā)示例

The post TwinCAT PLC SECS/GEM方案 first appeared on 珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司.

第一步：創(chuàng)建.NET Console程序

從VS2022新創(chuàng)建.NET 6 Console Application, 項目命名QuickGem300。

第二步：添加KXGEM300 Nuget引用

通過Nuget添加Kxware.ToolAutomation軟件庫

第三步：創(chuàng)建SECS/GEM對象并進行初始化

點擊此處下載源代碼 

using Kxware.ToolAutomation;

// Create GEM300 service
var myGEM300Equipment = new Equipment("MyDemoMachine", ProductType.GEM300);

// Initialize GEM300 service
myGEM300Equipment.Initialize();

// Print information
Console.WriteLine("MyDemoMachine GEM300 service successfully starts up");
Console.ReadLine();

完成！

程序啟動后，默認(rèn)采用HSMS通信方式，打開5000，5001端口進行監(jiān)聽。使用KXGEMTester或者其他第三方SECS/GEM測試工具可以對上述GEM300 App進行SECS/GEM, GEM300各個功能進行逐一測試。

The post KXGEM300 SDK 快速使用介紹 first appeared on 珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司.

第一步：創(chuàng)建.NET Console程序

從VS2022新創(chuàng)建.NET 6 Console Application, 項目命名QuickSecsGem。

第二步：添加KXGEM Nuget引用

通過Nuget添加Kxware.Connectivity軟件庫

第三步：創(chuàng)建SECS/GEM對象并進行初始化

點擊此處下載源代碼 

using Kxware.ToolAutomation;

// Create SECS/GEM service
var mySecsGemEquipment = new Equipment("MyDemoMachine");

// Start SECS/GEM service
mySecsGemEquipment.Initialize();

// Print start up information
Console.WriteLine("MyDemoMachine SECS/GEM service starts up successfully");
Console.ReadLine();

完成！ 程序啟動后，默認(rèn)采用HSMS通信方式，打開5000，5001端口進行監(jiān)聽。使用KXGEMTester或者其他第三方SECS/GEM測試工具可以對上述SECS/GEM App進行SECS/GEM各個功能進行逐一測試。

The post KXGEM SDK 快速使用指南 first appeared on 珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司.