為了進(jìn)一步完善產(chǎn)品，提供更好的用戶體驗(yàn)，自2023年10月26日 發(fā)布…
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SECS GEM系列之設(shè)備自我描述接口的進(jìn)化
GEM標(biāo)準(zhǔn)是半導(dǎo)體行業(yè)普遍遵循的自動化標(biāo)準(zhǔn)，所有符合GEM標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)備都…
SECS GEM系列之控制狀態(tài)機(jī)
早在工廠生產(chǎn)自動化應(yīng)用普及之前，絕大多數(shù)設(shè)備處于“離線”狀態(tài)，設(shè)備狀態(tài)…
真空腔設(shè)備設(shè)計(jì)開發(fā)案例
半導(dǎo)體真空腔設(shè)備的軟件設(shè)計(jì)和開發(fā)是極其復(fù)雜的一項(xiàng)工作，珂矽在過去三年內(nèi)…